真空バタフライ弁とは
真空バタフライ弁とは
真空バタフライ弁とは、真空と真空、あるいは真空と大気を隔離するためのバルブです。熱やガス、プラズマなどが付加された真空の隔離や、真空状態を保ったまま大気と隔離する用途で用いられています。
たとえばディスプレイや半導体基板の製作における工程隔離のほか、真空チャンバーの圧力調整でも活用されています。 真空バタフライ弁には高い気密性が求められ、真空に耐えられるよう設計。素材はすべて真空に耐えられるようになっています。
真空バタフライ弁のメリットデメリット
真空バタフライ弁のメリットは、厳密な管理が要求される気体を扱う場合や、漏れ出す気体を最小限に抑えたい場合に活用できること。また、コントロールする気体を大気に触れさせたくない場合にも活用できます。
なお、真空バルブにはさまざまな種類がありますが、バタフライ弁ならコンパクトで設置しやすい点も真空バタフライ弁のメリットといえます。一方デメリットとしては、他のバルブと比較して真空用は価格が高額になりがちだという点が挙げられます。
真空バタフライ弁の種類
手動
手動で操作するタイプの真空バタフライ弁です。手軽に操作できるサイズのものが多く、全閉時には流体が漏れないよう弁体が完全にシールします。
エアー駆動
エアーシリンダーによって開閉を行う真空バタフライ弁です。0度～45度と全開（90度）の2位置で作動できるよう、エアーシリンダーを2段階構造にしたタイプもあります。
モーター駆動
モーターを使用して開閉を行う真空バタフライ弁です。任意のポジションへの位置決めや、開閉速度の可変も可能です。
真空バルブの注意
真空バルブはさまざまな用途で活用されており、大気圧用から超高真空用まで豊富な種類が用意されています。ただし、要求される真空度や用途に合わせて選ぶ必要があります。そのため、真空バルブの導入時には必要な真空度や用途を確認し、適切なものを選ぶようにしましょう。
真空バタフライ弁を取り扱っている会社
株式会社オーケーエム「616J/618H/622H」
高層ビルや空調設備、消防防災設備、一般産業と幅広い用途で使用できる真空バタフライ弁。本体とシートを一体化させているため高圧・高差圧・高流速（6m/s）真空度などで活用できます。 駆動部にはレバーやギヤ、シリンダー、電動の複数タイプがあります。高いCv値と優れた制御性のあるS-ラインディスクを装備。また、タッチシート機構を採用しており、良好なシール性と低トルク、ゴムシートの寿命化を実現。高性能で経済的な点が魅力的です。
株式会社美幸輝「エアー駆動バタフライバルブ（B/BH/BR・BT/BJ4シリーズ」
Bシリーズでは、真空バルブ中でも口径に対するコンダクタンス性能に優れているのが特徴。ラック＆ピニオンの単純駆動によって優れた信頼性も確保しています。 また、BHシリーズはスロー排気と高速排気の両方を行えるのが特徴。全閉全開用のシリンダーと弁開度0～45度の範囲で設定可能なシリンダーを搭載した、2段階構造になっています。 そのほかにも、手動用のBR・BTシリーズやモーター駆動のBJ4シリーズも用意しています。
株式会社キッツエスシーティー「IVWFシリーズ」
シンプル構造により、半導体真空装置の真空排気ラインに設置が可能な遮断弁です。コンパクトかつ軽量なためバルブの取り付けが簡単。面間寸法を小さくしているため省スペースでも設置できます。また、開度は固定ネジにより任意で設定可能。差動ネジ機構の採用によって微小調整も行えます。
VAT「真空バタフライバルブ」
VATterflyバルブやFVバタフライバルブ、バタフライコントロールバルブ、締切り機能付バタフライコントロールバルブ、HVコントロール・締め切りバタフライバルブコンボユニットなどの種類があります。たとえば20.3 VATterflyバルブでは、特殊なVATterfly技術により従来のバタフライバルブとは異なる閉動作を行います。潜在的なパーティクルを発生させるリスクを抑えられるため、腐食性の高いプロセスでの隔離要件に適しています。
株式会社ティサポート「真空バタフライバルブ（NW/KF/ISO）」
HTC社の販売代理店として真空バタフライ弁を扱っており、手動式のほか圧空式、圧力コントロールシステムの3種類をラインナップ。適合フランジはNW・KF・ISOです。ティサポートではカスタム品の要望にも対応しており、専門スタッフによるメンテナンスサービスも実施しています。
既存品からオーダーまで対応
オーケーエム
画像引用元：株式会社オーケーエム公式サイト
（https://www.okm-net.jp/）
- バタフライ弁を専門的に取り扱うメーカー
- 脱炭素市場向けのバルブ開発に取り組む
- 高品質で、材料や口径の細やかなカスタムにも対応
クボタ
画像引用元：株式会社クボタ公式サイト
（https://www.kubota.co.jp/product/valve/index.html）
- 水道用バタ弁を探している方向け
- 独自の規格がある水道用の特殊なバタ弁を製造・販売
- 各自治体(都道府県)によって指定された仕様に対応
幅広く取扱い
KITZ（キッツ）
画像引用元：株式会社キッツ公式サイト
（https://www.kitz.co.jp/）
- バルブ全般を取り扱うメーカー
- 他のバルブとまとめてバタフライバルブを検討・導入したい方向け
- バタ弁以外のバルブもまとめて相談・注文可能
※2022年1月に「バタフライ弁」「バタフライバルブ」「バタ弁」で検索し、該当した上位30社を調査した際の情報を基にしております。「オーケーエム」は創業年数と専門性、「KITZ」は取り扱うバルブの種類、「クボタ」は水道用バタフライ弁の取り扱い数がそれぞれ最も長い・多いため選出しました。
